测量范围 |
Z轴(垂直)160μm / X轴(水平)17.5mm(0.71inch) |
分辨率Z轴(垂直) |
0.01μm/±20μm 0.02μm/±40μm 0.04μm/±80μm |
测量参数 |
Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr |
显示范围 |
Ra,Rq:0.005μm~16μm;Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,:0.02μm~160μm Rsm, Rs:1mm;Rmr:0~100%;Rsk:0~100% |
图形 |
支承率曲线,粗糙度轮廓,直接轮廓 |
滤波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
取样长度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
评定长度(ln) |
Ln= lr×n n=1~5 |
测量原理 |
位移式差动电感 |
触针 |
天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 |
测力 |
<4mN |
导头 |
硬质合金,滑行方向半径40mm |
滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
示值误差 |
不大于±10% |
示值变动性 |
不大于6% |
电源 |
内置锂离子充电电池,用DC5V,800mA充电器充电 |
外形尺寸 |
158x63.5x46mm |
重量(主机) |
约300g |
工作环境 |
温度:- 20℃ ~ 40℃ 湿度:< 90% RH |
储存运输环境 |
温度:- 40℃ ~ 60℃ 湿度:< 90% RH |